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Asahi Spectra光刻滤光片

产品时间:2019-02-22

简要描述:

Asahi Spectra光刻滤光片
开发的真空沉积技术,如离子辅助沉积(IAD),离子束溅射(IBS),实现硬涂层的环境(湿度,低或高的温度,热冲击或真空)的优良的耐用性和稳定性光谱性能。

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Asahi Spectra光刻滤光片

用于光刻的光学元件需要环境耐久性以抵抗高温和高效率的透射和反射,从而有助于提高产量。

Asahi为汞发射线,长通滤波器或通过离子辅助沉积(IAD)方法涂覆的冷镜提供带通滤波器。IAD技术确保干涉膜在诸如步进器的光刻设备中对抗恶劣环境的耐久性。它还实现了稳定的光谱性能和高透射率或反射率。

也可提供大幅面光学元件,直径约600mm。

Asahi公司为汞放射线、长波滤光器,以及以离子辅助沉积(IAD)方法涂层的冷镜提供通光带滤光器。

IAD技术保证了干涉膜能在像stepper这样的光刻设备的恶劣环境中,有足够的耐久性,

同时还能有稳定的光谱性能和高透光与反射性能。

也可以订购大型的滤光器,最大直径为600毫米。

高功率汞灯常用于光刻设备,如LSI和LCD步进器作为光源,特别是i-line(365 nm)是最著名的线。为了达到光掩模的分辨率,通光带滤光器需要有效地透射单色汞线。

此外,不为降低运行成本而忽视环境耐久性。

Asahi公司的i-line通光带滤光器由离子辅助沉积(IAD)技术涂层与单片基板制造,以保证高温耐性,并长期保持稳定的光谱性能。

Asahi Spectra光刻滤光片

  • 由于IAD技术与单片基板,设备长期具有稳定的光谱性能
  • 根据需要可以调整CWL和FWHM
  • 不论滤光器的尺寸有多大,都有优良的涂层均匀性

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